按照ETI验厂审核规定程序，总结的审核所需文件材料如下，以便工作需要：
      1） 附ITS质量体系文件及相关记录清单
　　2） 质量手册(程序文件,作业指导)
　　3） 合格供应商清单
　　4） 采购订单
　　5） 向关键供应商采购的订单
　　6） 来料记录
　　7） 各车间领料记录
　　8） 原料盘点记录
　　9） 成品入库/出库记录
　　10）来料检验记录
　　11）如有发生退货,工厂的纠正的措施程序,
　　12）生产工单
　　13）仪器清单及校正记录
　　14）模具的保养记录
　　15）对工人的培训计划及记录(重点是QC)
　　16）制程中的检验方法及记录
　　17）成品的检验方法及记录
　　18）不良品的处理记录
　　19）组织结构图及各工序的职责
　　20）管理评审记录
　　21）客户投诉程序及相关记录
　　22）机器的安全操作指引